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話

編

歴
薄膜
作成法

気相堆積法

物理気相成長法（PVD）

真空蒸着法

抵抗加熱蒸着法

電子ビーム加熱蒸着法（EBPVD）（英語版）

パルスレーザー堆積法（PLD）（英語版）

分子線エピタキシー法（MBE）



スパッタリング

化学気相成長法（CVD）

熱CVD

有機金属化学気相成長法（MOCVD）

ツーフローMOCVD

触媒化学気相成長法（Cat-CVD）



プラズマCVD

原子層堆積（ALD）


液相堆積法

融液法

液相エピタキシー法

溶液法

めっき

ゾルゲル法

塗布法

スピンコート

印刷

インクジェット




機能・応用

ゲート絶縁膜

MEMS

薄膜トランジスタ

反射防止膜

透明電極

巨大磁気抵抗効果

磁気テープ

有機EL

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