MEMS
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^ 出典:ＭＥＭＳ関連市場の現状と将来予測について。マイクロマシンセンター: ⇒http://mmc.la.coocan.jp/research/market/market2007/market2007.html
^ [1]
^ Grayson, Amy C. Richards, et al. "[Grayson, Amy C. Richards, et al. "A BioMEMS review: MEMS technology for physiologically integrated devices." Proceedings of the IEEE 92.1 (2004): 6-21. A BioMEMS review: MEMS technology for physiologically integrated devices.]" Proceedings of the IEEE 92.1 (2004): 6-21.
^ Saliterman, Steven S. Fundamentals of BioMEMS and medical microdevices. Bellingham, WA: Wiley-Interscience, 2006.
文献
James B. Angell; Stephen C. Terry; Phillip W. Barth (April 1983). “Silicon Micromechanical Devices”. サイエンティフィック・アメリカン 248 (4): 44 - 55.
J.B.エンジェル、S.C.テリー、P.W.バース「シリコン基板に組み込んだマイクロセンサー」『サイエンス』、日経サイエンス社、1983年6月号、18頁。
関連項目
江刺正喜
藤田博之
マイクロマシン、マイクロボット
マイクロファブリケーション
マイクロエレクトロニクス
Transducers
micro-TAS
センサネットワーク
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MEMS-IGZOディスプレイ
ナノテクノロジー
ナノトライボロジー
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