中華民国では建国当初から省長官が絶大な権力を有し独立王国の様相を呈する傾向があったことから省の細分化が検討されていた。その初見は1913年（民国2年）2月に熊希齢による省制廃止に伴う道県二級化の提案であったが袁世凱の反対により否決されている。また1930年（民国19年）11月に第3回四中全会にて、伍朝枢による『縮小省区案』や胡漢民らによる『改定省行政区原則案』が提出されたがいずれも実施には至っていない。それでも省級行政区画の取り扱いは重要議題として扱われ、1939年（民国28年）8月には国防最高委員会（中国語版）の指示を受け行政院に「省制問題設計委員会」が設置され省制の在り方が討議されていた。

具体的に省制改革に着手をしたのは、日本の敗戦に伴い行政権を回復した旧満洲国地区（東三省）である。満洲国建国以前は遼寧、吉林、黒竜江の3省が設置されていたが、満洲国ではこれらを細分化した省級行政区画を設置していた。それを受け、南京国民政府は満洲国の行政区画を基礎に省再編を行い、同年8月31日に『収復東北各省処理弁法要綱』を発表、満洲地区を9省2院轄市に再編することを決定した（東北新省区方案（中国語版））。しかしこれらの地区は国共内戦の結果、共産党勢力の実効支配下に置かれており、実際に行政機構が設置されたのは一部地域に限られ、または設置されても短命であった。
1949年以降の沿革1953年から1967年迄の中華民国の行政区画中華民国と中華人民共和国の行政区画の対比

1949年（民国38年）6月5日、それまで広東省の管轄下に置かれていた海南島地区に海南特別行政区が設置され、行政院の直轄区域とされた。この頃の中華民国政府は国共内戦で挽回が不可能なほど劣勢となっており、中央政府も首都の南京から各都市へと移転した上で、最終的には12月7日に台湾へと脱出した。1953年（民国42年）2月24日、立法院が中ソ友好同盟条約を正式に破棄したのに伴い、モンゴル独立の承認が撤回された（モンゴルの扱いについては 中華民国の政治#対蒙関係、蒙古地方を参照）。それを受けて外モンゴルに蒙古地方が再設置され、1953年（民国42年）末時点で中華民国政府が設置する行政区画は全国35省、12院轄市、1特別行政区、2地方とされた（表3を参照）。

1955年（民国44年）の大陳島撤退作戦により、中華民国の実効支配地域は台湾地区（台湾省と福建省の金馬地区）となった。だが、台湾で中華民国政府が万年国会を維持し続けたため、大陸地区（台湾地区以外の地域）の行政区画も政府内で必要とされ続け、政府が公表する行政公告に掲載され続けた。1993年（民国82年）1月末、万年国会が全て解散された。その後も大陸地区の行政区画は政府公告に掲載され続けたが、2006年（民国95年）刊行の「中華民國九十四年年鑑」を最後に、中華民国政府は大陸地区の行政区分に関する公告を発表していない。

類別数1953年時点の行政区域（表3）
省35安徽（合肥県） | 安東（通化市） | 雲南（昆明市） | 河南（開封県） | 河北（北平市） | 甘粛（蘭州市） | 広西（桂林市） | 広東（広州市） | 貴州（貴陽市） | 吉林（吉林市） | 興安（海拉爾市） | 合江（佳木斯市） | 江西（南昌市） | 江蘇（鎮江県） | 黒竜江（北安市） | 湖南（長沙市） | 湖北（武昌市） | 山西（太原市） | 山東（済南市） | 四川（成都市） | 松江省（牡丹江市） | 新疆（迪化市） | 西康（康定県） | 綏遠（帰綏市） | 青海（西寧市） | 浙江（杭州市） | 陝西（西安市） | 台湾 （台北市）| 察哈爾（張家口市） | 寧夏（銀川市） | 熱河（承徳市） | 嫩江（斉斉哈爾市） | 福建（福州市） | 遼寧（瀋陽市） | 遼北（遼源県）
院轄市12南京 | 漢口 | 広州 | 上海 | 重慶 | 瀋陽 | 西安 | 青島 | 天津 | 哈爾濱 | 北平
特別行政区1海南（海口市）
地方2西蔵地方（拉薩市） | 蒙古地方（庫倫市）