1966年（昭和41年）、刈谷市野田町の生家跡に顕彰碑が建立された[2]。

1967年（昭和42年）8月13日、静岡県熱海市梅園町の自宅で死去した[1][6]。死因は脳軟化症[2]。95歳没。葬儀は15日に自宅で、告別式は9月5日に青山学院礼拝堂で行われ、高弟の冨山保（初代横浜国立大学学長）が葬儀委員長を務め、門弟代表として佐野隆一（東北東ソー化学創業者）が謝辞を述べた[6]。

菩提寺は刈谷市野田町にある昌福寺[2]。生家跡には刈谷市によって小公園「加藤与五郎生家跡」が整備され、毎年秋には加藤の顕彰祭が行われている[2]。加藤は生前に自身の母校の児童生徒らに奨学金を贈っていたが、没後には加藤科学振興会が刈谷市内の7小中学校で加藤与五郎賞の表彰を行っている[2]。

昌福寺にある墓（愛知県刈谷市）

「加藤与五郎生家跡」（愛知県刈谷市）

門下

東京高等工業学校や東京工業大学での指導学生に冨山保（初代横浜国立大学学長、元電気化学協会会長）、佐野隆一（東北東ソー化学創業者、日本ソーダ工業会名誉会長）、星野�ﾄ（東京工業大学名誉教授）、武井武（東京工業大学名誉教授、慶應義塾大学名誉教授、元電気化学協会会長）、永海佐一郎（東京工業大学名誉教授）、柴田勝太郎（元東洋高圧工業社長）など[6]。
顕彰・栄典

1916年（大正5年）11月20日 - 従五位[7]

1935年（昭和10年） - 勲二等瑞宝章

1952年（昭和27年） - 藍綬褒章[3]

1957年（昭和32年） - 文化功労者[3]

1958年（昭和33年） - 軽井沢町名誉町民[8]

1964年（昭和39年） - 同志社大学名誉文化博士[3][3]

1964年（昭和39年） - 勲二等旭日重光章[3]

1980年（昭和55年） - 刈谷市功労者[1]

2000年（平成12年） - 刈谷市名誉市民[1]

著書
単著


加藤与五郎（著）『新体制下の化学の画期的振興と教育問題』日本講演通信社、1941年

加藤与五郎（著）『科学制覇への道』畝傍書房、1942年

加藤与五郎（著）『電気化学要論』同文書院、1942年

加藤与五郎（著）『電気化学要論』大八洲、1946年

加藤与五郎（著）『創造の原点』共立、1973年（『科学制覇への道』の改題）

共著


加藤与五郎・水野滋（共著）『電気化学の真髄』同文書院、1955年

訳書


ローレンス・A・ホウキンス（著）、加藤与五郎・崎川範行（訳）『未知への探険 ゼネラル電気研究所五十年史』槙書店、1952年

講演集


『創造・科学・教育 フェライトの父加藤与五郎』同志社大学理工学研究所、2001年

脚注^ a b c d e 加藤与五郎 日本のエジソン 刈谷市
^ a b c d e f フェライトの父 加藤与五郎生家跡 刈谷市観光協会