反応性イオンエッチングに使われるもの六フッ化硫黄 (SF6)四フッ化炭素 (CF4)トリフルオロメタン (CHF3)
反応性ガスエッチングに使われるもの二フッ化キセノン (XeF2)関連項目ウエットエッチング反応性イオンエッチングイオンミリング