ドライエッチング
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半導体
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フロリナート
PFAS
[1]
[2]
特徴
フォトレジスト
微細加工
種類
反応性イオンエッチング
主なエッチングガス
反応性イオンエッチング
六フッ化硫黄
四フッ化炭素
関連項目
ウエットエッチング
反応性イオンエッチング
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出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』
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