ウェハー
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工程中でウェハーの向きを合わせるため、周上にオリエンテーション・フラット[9]と呼ばれる直線部、またはノッチとよばれる切り欠きが設けられている。また、結晶構造が製造する半導体素子の動作に最も適した方向となるよう、ウェハーは特定の結晶方位に沿ってスライスされており、導電型と結晶方位によってオリエンテーション・フラットの切り欠き位置が決まっている。
種類
シリコンウェハー
SiC（シリコンカーバイド）ウェハー
サファイアウェハー
化合物半導体ウェハー
GaP（リン化ガリウム）ウェハー
GaAs（ヒ化ガリウム）ウェハー
InP（リン化インジウム）ウェハー
GaN（窒化ガリウム）ウェハー
主要メーカー
信越半導体 世界1位
SUMCO（三菱住友シリコン） 世界2位
エム・イー・エム・シー・エレクトロニック・マテリアルズ（英語版） 世界3位
シルトロニック（ドイツ語版）（旧ヴッカー・シルトロニックAG） 世界4位
SUMCO TECHXIV（旧コマツ電子金属）
グローバルウェーハズ・ジャパン（旧東芝セラミックス→コバレントマテリアル）
昭和電工
LGシルトロン（旧シルトロン）
関連する技術
ダイシング
エピタキシャル成長
ラピッドサーマルプロセス
RCA洗浄
出典^ 製品情報 信越化学工業など
^ 『学術用語集 機械工学編（増訂版）』日本機械学会、1985年12月5日、343頁。.mw-parser-output cite.citation{font-style:inherit;word-wrap:break-word}.mw-parser-output .citation q{quotes:"\"""\"""'""'"}.mw-parser-output .citation.cs-ja1 q,.mw-parser-output .citation.cs-ja2 q{quotes:"「""」""『""』"}.mw-parser-output .citation:target{background-color:rgba(0,127,255,0.133)}.mw-parser-output .id-lock-free a,.mw-parser-output .citation .cs1-lock-free a{background:url("//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/6/65/Lock-green.svg")right 0.1em center/9px no-repeat}.mw-parser-output .id-lock-limited a,.mw-parser-output .id-lock-registration a,.mw-parser-output .citation .cs1-lock-limited a,.mw-parser-output .citation .cs1-lock-registration a{background:url("//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/d/d6/Lock-gray-alt-2.svg")right 0.1em center/9px no-repeat}.mw-parser-output .id-lock-subscription a,.mw-parser-output .citation .cs1-lock-subscription a{background:url("//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/a/aa/Lock-red-alt-2.svg")right 0.1em center/9px no-repeat}.mw-parser-output .cs1-ws-icon a{background:url("//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/4/4c/Wikisource-logo.svg")right 0.1em center/12px no-repeat}.mw-parser-output .cs1-code{color:inherit;background:inherit;border:none;padding:inherit}.mw-parser-output .cs1-hidden-error{display:none;color:#d33}.mw-parser-output .cs1-visible-error{color:#d33}.mw-parser-output .cs1-maint{display:none;color:#3a3;margin-left:0.3em}.mw-parser-output .cs1-format{font-size:95%}.mw-parser-output .cs1-kern-left{padding-left:0.2em}.mw-parser-output .cs1-kern-right{padding-right:0.2em}.mw-parser-output .citation .mw-selflink{font-weight:inherit}ISBN 4-88898-030-6。
^ ⇒製品情報 SUMCO、 ⇒製品情報 クアーズテックなど
^ かつての住友金属工業など
^ ⇒プレスリリース 産総研 など
^ ⇒IT用語辞典など
^ 技術情報 住友金属工業など
^ ⇒ウェハー加工サービスアイテスなど
^ 英: orientation flat、オリフラ
関連項目
半導体
集積回路
電子回路
電気回路
電子部品
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出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』
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