化学エネルギーを力学エネルギーに変換する[8][9]。まだ実験段階で複数の方式が模索される。
磁性流体アクチュエータ

磁性流体を用いたアクチュエータ[10][11]。
電気粘性流体アクチュエータ

電気粘性流体を用いたアクチュエータ。粘性を制御可能で減衰係数を変える事により建築物の制振機構や車両のセミアクティブサスペンション等の用途に適用できる。
応用

ロボットの関節を動作させるなどの利用が見られる。この中にはエネルギーを与えたときだけ縮み、エネルギーを絶つと外部の力に対して受動的になるアクチュエータも多く、関節を動作させる場合には、関節を曲げるアクチュエータと、伸ばすアクチュエータがセットになっていたり、或いは片側をばねの弾力で肩代わりさせるなどの設計様式も見られる。複雑な所では力の合成を利用して複数アクチュエータから得られる力を利用して、軸を支点として複雑な運動を行う場合もある。

こういった複雑な動作を要求されるアクチュエータは制御のために状態を検出するセンサと同時に組み込まれ、状態を監視する（センシング）。これによってアクチュエータに入力されるエネルギーを調節され、望みどおりの運動を行うが、建設機械のような単純なものでは操作者が各々の関節の状態を目視で確認・調節することからこういった状態把握のためのセンサ類は利用されない。

2000年代では制御用コンピュータの高性能化・小型化が進み、ロボットがより現実的な装置として開発されているが、その陰でアクチュエータもより効率よく動作するものが求められており、センシング技術も並行する形でセンサの小型化・高精度化や一定の情報処理機能を備える知能化が進んでおり、これらがロボット工学の全体的な発展を促している。
メーカー

IAI

LINAK

TiMOTION

YAMAHA

日本精工

スマートロボティクス

THK

黒田精工

ケーエスエス

日本トムソン

TAIYO

MISUMI

アイセル

日本ギア工業[12]（バルブアクチュエータ）



脚注^ a b 則次俊郎「空気圧アクチュエータ」『日本ロボット学会誌』第15巻第3号、日本ロボット学会、1997年4月、355-359頁、doi:10.7210/jrsj.15.355、.mw-parser-output cite.citation{font-style:inherit;word-wrap:break-word}.mw-parser-output .citation q{quotes:"\"""\"""'""'"}.mw-parser-output .citation.cs-ja1 q,.mw-parser-output .citation.cs-ja2 q{quotes:"「""」""『""』"}.mw-parser-output .citation:target{background-color:rgba(0,127,255,0.133)}.mw-parser-output .id-lock-free a,.mw-parser-output .citation .cs1-lock-free a{background:url("//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/6/65/Lock-green.svg")right 0.1em center/9px no-repeat}.mw-parser-output .id-lock-limited a,.mw-parser-output .id-lock-registration a,.mw-parser-output .citation .cs1-lock-limited a,.mw-parser-output .citation .cs1-lock-registration a{background:url("//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/d/d6/Lock-gray-alt-2.svg")right 0.1em center/9px no-repeat}.mw-parser-output .id-lock-subscription a,.mw-parser-output .citation .cs1-lock-subscription a{background:url("//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/a/aa/Lock-red-alt-2.svg")right 0.1em center/9px no-repeat}.mw-parser-output .cs1-ws-icon a{background:url("//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/4/4c/Wikisource-logo.svg")right 0.1em center/12px no-repeat}.mw-parser-output .cs1-code{color:inherit;background:inherit;border:none;padding:inherit}.mw-parser-output .cs1-hidden-error{display:none;color:#d33}.mw-parser-output .cs1-visible-error{color:#d33}.mw-parser-output .cs1-maint{display:none;color:#3a3;margin-left:0.3em}.mw-parser-output .cs1-format{font-size:95%}.mw-parser-output .cs1-kern-left{padding-left:0.2em}.mw-parser-output .cs1-kern-right{padding-right:0.2em}.mw-parser-output .citation .mw-selflink{font-weight:inherit}ISSN 02891824、NAID 10007548325。 
^ “油圧復活、耐衝撃性でモーターに逆襲 川崎重工・ブリヂストンがロボットに”. 日経クロステック (2020年6月1日). 2020年9月8日閲覧。
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^ 李湧権, 「電動モータと油圧システムの競演から協演へ」『電気学会誌』 2016年 136巻 6号 p.368-371, 電気学会, doi:10.1541/ieejjournal.136.368
^ 鈴森康一, 「次世代アクチュエータが切り拓く新しいロボティクス」『日本ロボット学会誌』 2015年 33巻 9号 p.656-659, , doi:10.7210/jrsj.33.656
^ ロボット向け電油アクチュエータの開発 - 川崎重工
^ 若林慶彦, 岡本敏明, 斉藤浩一, 工藤寛之, 三林浩二「液性駆動・制御が可能な生化学式アクチュエータ」『自動制御連合講演会講演論文集』第50回自動制御連合講演会セッションID: 121、自動制御連合講演会、2007年、21-21頁、doi:10.11511/jacc.50.0.21.0、NAID 130004600312。