この記事は検証可能な参考文献や出典が全く示されていないか、不十分です。
出典を追加して記事の信頼性向上にご協力ください。(2014年2月)
MEMSで一般的な圧力センサはダイアフラムゲージ
(diaphragm gauge)で、隔膜(ダイアフラム)に加わる圧力を膜の変形として検出する。変形を検出する方法には静電容量の変化やひずみゲージを使う。小型の血圧計などに使われている。膜に耐腐食性の材料を使用すれば、反応性の液体や気体の圧力も計測できる。
その他に気体によるダンピングが気圧に依存することを利用して、振動子のQ値の変化を検出することで気圧を検出するタイプの圧力計もある。
一定圧力で作動する接点検出式の圧力スイッチも含まれる。
関連項目
圧力測定
更新日時:2014年2月27日(木)07:26
取得日時:2019/08/28 20:02