半導体工学
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半導体工学(はんどうたいこうがく、: semiconductor engineering)は、半導体素子の設計・製造、寿命などの性能評価、半導体を利用した計測などを取り扱う工学である。下記のように多様な技術が関係する。
設計

回路設計

CADEDA


プロセス・デバイス構造の設計(シミュレーション)

TCADプロセスシミュレーションデバイスシミュレーション


製造用機器の設計

製造技術

チョクラルスキー法

ゾーンメルト法

拡散(熱拡散)酸化(熱酸化)

蒸着

スパッタリング

スピンコート

CVD(化学気相成長法)

PVD(物理気相成長法)

MBE(分子線エピタキシー法)

エピタキシャル成長

イオン注入

フォトリソグラフィ(パターニング)

エッチング

FIB(focused ion beam)

CMP(化学機械研磨)

メタライズ(配線)

多層配線


製造時の欠陥検出

テストパターン

工程管理


ダイシング

パッケージング(組立)



半導体の物性・特性の測定手段

半導体の示す様々な物性は、研究開発や製造時の特性評価などにも利用されるほか、多くは半導体の用途にも深く関係する。

電気伝導度

ホール効果

PN接合ショットキー接合の特性:

電流-電圧特性、空乏層容量、ゼーベック効果ペルティエ効果光起電力効果エレクトロルミネセンス


組成や不純物:EDXEPMASIMSICP

構造:光学顕微鏡XRDRBSラマン効果SEMTEMAFMXRFSPM、SCM

バンド構造など:光電効果光電子分光、逆光電子分光、DLTSフォトルミネセンス

製品の性能評価

電気的特性

DC特性

AC特性


寿命

信頼性

関連項目

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出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)
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