三フッ化窒素
IUPAC名
Nitrogen trifluoride
別称Nitrogen fluoride
Trifluoramine
Trifluorammonia
識別情報
CAS登録番号7783-54-2
?207.15 °C, 66 K, -341 °F
沸点
?129.1 °C, 144 K, -200 °F
水への溶解度0.021 vol/vol (20 ℃, 1 bar)
構造
分子の形trigonal pyramidal
双極子モーメント0.234 D
危険性
安全データシート(外部リンク) ⇒Air Liquide MSDS
EU Index掲載なし
NFPA 704010OX
引火点不燃性
特記なき場合、データは常温 (25 °C)・常圧 (100 kPa) におけるものである。
三フッ化窒素(さんフッかちっそ)は化学式 NF3で表される無機化合物。この窒素-フッ素化合物は無色、有毒、無臭、不燃性、助燃性の気体である。半導体化学でエッチングガスとして使われるため、使用は増加傾向にある。 三フッ化窒素はシリコンウェハーのプラズマエッチング 二元素から成るフッ化物の中で、NF3 はフッ素と窒素からは直接合成できない珍しい例である。ほとんどの元素はフッ素ガスと反応し、時には激しく反応する。しかし、N2 と F2 とを直接反応させることはできない。 NF3 を初めて合成したのはオットー・ラフ
用途
合成方法と反応性
NF3は気体であり、高圧ボンベに入れて輸送される。 NF3は水にわずかに溶ける。水と反応することはない。NF3の双極子モーメントは小さく、0.2340 D である。一方 NH3 は塩基性であり、双極子モーメントは 1.47 D と高い[5]。 NF3は弱い酸化剤としてはたらく。 塩化水素と反応して塩素を発生する: 2 NF 3 + 6 HCl ⟶ 6 HF + N 2 + 3 Cl 2 {\displaystyle {\ce {2NF3\ + 6 HCl -> 6HF\ + N2\ + 3Cl2}}} 高温で金属に接触すると、テトラフルオロヒドラジン
反応