テラヘルツ波（テラヘルツは）とは、光と電波の中間の周波数領域にある電磁波である[1]。テラヘルツ波の周波数は、1 THz（波長300 μm）前後である[2]。
概要

光波と電波の中間領域に当たり、光学測定系の構築が可能と言う特長を持つ。大気中では、おもに水蒸気による吸収により減衰が大きく、伝搬距離が限られる。

また、分子結晶などの固有の振動周波数が存在する。発生と検出が困難であるため、ようやく非破壊検査や宇宙観測などでの応用の緒に就いたところである。

テラヘルツを利用した技術に、テラヘルツ時間領域分光法がある。テラヘルツ波の発生と検出には光伝導アンテナや電気光学結晶（非線形光学結晶。例：ZnTe）を用いることにより、プローブパルス光が光伝導スイッチなどに照射された瞬間のテラヘルツ電場に比例した信号を時系列で測定し、電場の時間波形をフーリエ変換することによりテラヘルツ波の位相と振幅を同時に独立して検出することが可能である。位相のそろった縦振動分極の一つであるコヒーレント縦光学フォノンを用いたテラヘルツ波発生素子もある[3]。

近年、テラヘルツ波が世界的注目を集めるに至った大きな要因として、フェムト秒レーザーパルスを用いた広帯域テラヘルツパルスの発生・検出法が開発された事が挙げられる。この技術はテラヘルツ時間領域分光法（Terahertz TimeDomain Spactroscopy：THz-TDS）と呼ばれ、現在世界で最も広く用いられている[4]。

最初のテラヘルツ波による撮像は1960年代である。

1995年にテラヘルツ時間領域分光によって撮像された画像は細部も再現していた。この実験はトム・クランシーの小説にも登場する。

2005年に大阪大学のグループがテラヘルツトモグラフィの撮像に成功した[5]。

2008年、ハーバード大学の技術者達は、室温で半導体発振器（量子カスケードレーザー）でテラヘルツ波を発振したと発表した。これまでは極低温に冷却しなければ発振できなかった。これにより実用化に向けて大きく前進した[6]。

2009年9月、岩手県立大学の倉林徹らが、テラヘルツ波を照射し、振動波を確認してカシミヤの純度を数分で識別する技術を開発した[7]。

2013年3月、パイオニアとロームの研究グループは、共鳴トンネルダイオードを使用したテラヘルツ波による透過イメージングに世界で初めて成功した[8]。

電磁波における最後の未踏領域とされ、今後市場全体で、2014年の5470万ドルから2024年には12億ドルとなる見込み[9]。近年、成長する市場をあてこんで各国でベンチャー企業の参入が相次ぐ。真空チャネルトランジスタが微細化により低電圧での動作が可能になると、これまでにない超高速で動作する増幅・スイッチング素子となることが期待でき、将来的にはこの素子を利用してテラヘルツ波がスマートフォンやIoTなどにおけるさらなる超高速通信に利用できるようになる事が期待されている[10]。
発振源

テラヘルツ波は黒体放射で約10ケルビン以上の温度の大抵の物から放射される。この熱放射は微弱である。テラヘルツ光源は、広帯域テラヘルツパルス光源と単色テラヘルツ光源の2種類に大別することができる。2015年において利用できるテラヘルツ波の発振源はジャイロトロン、後進波管、遠赤外線レーザー、量子カスケードレーザー、自由電子レーザー、シンクロトロン放射、フォトミキシングソース、タンネット/ガン・ダイオード、HBT/HEMT、ジョセフソン素子、窒化ガリウム半導体素子、共鳴トンネルダイオード[11]、DAST有機非線形光学結晶[12][13][14]、テラヘルツ時間領域分光に使用されるシングルサイクルソースなどである。

従来はテラヘルツの発振と検出には超伝導素子が使用されていた[15][16]が、極低温に冷却しなければならず不便なため、ミリ波とサブミリ波の半導体発振器が長年求められており[17]、近年ではGaNのような化合物半導体[18]や有機非線形光学結晶である三フッ化N,N-ジエチルアミノ硫黄（DAST）[12]による非線形光学効果による室温での発振に成功している。