この項目では、電子部品の材料について説明しています。食品については「ウエハース」をご覧ください。
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ウェハー[1]
ウェーハ[2][3]
ウエーハ[4]
ウエハー[5]
ウェハ[6]
ウエハ[7][8]
ウェイファ
各種ウェハーエッチング加工されたシリコン・ウェーハ。虹色に光っているのは構造色由来で、CDなどと同じ原理
ウェハー（ウェイファ、英: wafer; /weif?r/）は、半導体素子製造の材料である。高度に組成を管理した単結晶シリコンのような素材で作られた円柱状のインゴットを、薄くスライスした円盤状の板である。呼称は洋菓子のウエハースに由来する。 ウェハーの直径は、50 - 300 mmまで複数のミリ数があり、この径が大きいと1枚のウェハーから多くの集積回路チップを切り出せるため、年と共に大径化している。2000年ごろから直径300 mmのシリコンウェハーが実用化され、2004年にはシリコンウェハー生産数量の20%程を占めた。 ウェハーの厚さは、製造工程での取り扱いの簡便さから 0.5 - 1 mm程度に作られており、一般のシリコンウェハーの場合、外寸は SEMI
形状
工程中でウェハーの向きを合わせるため、周上にオリエンテーション・フラット[9]と呼ばれる直線部、またはノッチとよばれる切り欠きが設けられている。また、結晶構造が製造する半導体素子の動作に最も適した方向となるよう、ウェハーは特定の結晶方位に沿ってスライスされており、導電型と結晶方位によってオリエンテーション・フラットの切り欠き位置が決まっている。
種類
シリコンウェハー
SiC（シリコンカーバイド）ウェハー
サファイアウェハー
化合物半導体ウェハー
GaP（リン化ガリウム）ウェハー
GaAs（ヒ化ガリウム）ウェハー
InP（リン化インジウム）ウェハー
GaN（窒化ガリウム）ウェハー
主要メーカー
信越半導体 世界1位
SUMCO（三菱住友シリコン） 世界2位
エム・イー・エム・シー・エレクトロニック・マテリアルズ（英語版） 世界3位
シルトロニック（ドイツ語版）（旧ヴッカー・シルトロニックAG） 世界4位
SUMCO TECHXIV（旧コマツ電子金属）
グローバルウェーハズ・ジャパン（旧東芝セラミックス→コバレントマテリアル）
昭和電工
LGシルトロン（旧シルトロン）
関連する技術
ダイシング
エピタキシャル成長
ラピッドサーマルプロセス
RCA洗浄
出典^ 製品情報 信越化学工業など
^ 『学術用語集 機械工学編（増訂版）』日本機械学会、1985年12月5日、343頁。.mw-parser-output cite.citation{font-style:inherit;word-wrap:break-word}.mw-parser-output .citation q{quotes:"\"""\"""'""'"}.mw-parser-output .citation.cs-ja1 q,.mw-parser-output .citation.cs-ja2 q{quotes:"「""」""『""』"}.mw-parser-output .citation:target{background-color:rgba(0,127,255,0.133)}.mw-parser-output .id-lock-free a,.mw-parser-output .citation .cs1-lock-free a{background:url("//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/6/65/Lock-green.svg")right 0.1em center/9px no-repeat}.mw-parser-output .id-lock-limited a,.mw-parser-output .id-lock-registration a,.mw-parser-output .citation .cs1-lock-limited a,.mw-parser-output .citation .cs1-lock-registration a{background:url("//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/d/d6/Lock-gray-alt-2.svg")right 0.1em center/9px no-repeat}.mw-parser-output .id-lock-subscription a,.mw-parser-output .citation .cs1-lock-subscription a{background:url("//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/a/aa/Lock-red-alt-2.svg")right 0.1em center/9px no-repeat}.mw-parser-output .cs1-ws-icon a{background:url("//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/4/4c/Wikisource-logo.svg")right 0.1em center/12px no-repeat}.mw-parser-output .cs1-code{color:inherit;background:inherit;border:none;padding:inherit}.mw-parser-output .cs1-hidden-error{display:none;color:#d33}.mw-parser-output .cs1-visible-error{color:#d33}.mw-parser-output .cs1-maint{display:none;color:#3a3;margin-left:0.3em}.mw-parser-output .cs1-format{font-size:95%}.mw-parser-output .cs1-kern-left{padding-left:0.2em}.mw-parser-output .cs1-kern-right{padding-right:0.2em}.mw-parser-output .citation .mw-selflink{font-weight:inherit}ISBN 4-88898-030-6。
^ ⇒製品情報 SUMCO、 ⇒製品情報 クアーズテックなど
^ かつての住友金属工業など
^ ⇒プレスリリース 産総研 など
^ ⇒IT用語辞典など
^ 技術情報 住友金属工業など
^ ⇒ウェハー加工サービスアイテスなど
^ 英: orientation flat、オリフラ
関連項目
半導体
集積回路
電子回路
電気回路
電子部品
ウィキメディア・コモンズには、ウェハーに関連するメディアがあります。
