自己整合(Self-alignment)とは、例えば半導体等の集積回路作製プロセスにおいて、既に形成されたパターンを次のプロセスのマスクとして利用し、マスクの位置合わせ無しで次のプロセスを進めることである。 また、最初のパターンあるいは形状が最終的な素子のパターンあるいは形状を決定する場合も自己整合と呼ぶ。 自己組織化(Self-assembly)とは異なる。

関連項目

薄膜トランジスタ
カテゴリ: 半導体

更新日時:2007年1月22日(月)07:43
取得日時:2008/09/06 07:35